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LED晶圓激光表切設備
該設備采用高性能紫外激光器,用來對硅晶圓及藍寶石晶圓片等進行切割開槽。
設備優勢
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    無人值守全自動加工,也可對殘片進行全自動加工
  • 02
    設備具備自動涂膠和自動清洗功能,保證切割后對產品無污染
  • 03
    設備具備正切和背切加工,可兼容不同工藝需求
  • 04
    設備采用多光點切割技術,保證切割品質與良率
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設備展示
基本信息
  • 1. 適用產品:硅晶圓及藍寶石晶圓片切割開槽工藝
  • 2. 激光器:定制紫外納秒激光器
  • 3. 加工方式:全自動
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