8/12英寸全自動晶圓預(yù)處理設(shè)備
該設(shè)備兼容 12 inch Frame & 8/12 inch 晶圓，包括晶圓清洗和表面活化預(yù)處理單元。
設(shè)備優(yōu)勢
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01整機模塊化設(shè)計，方便安裝調(diào)試和維護(hù)
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02內(nèi)環(huán)境達(dá)Class1等級
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03全自動設(shè)備，支持Frame/Wafer自動上下料，可實現(xiàn)軟件全自動作業(yè)控制
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04關(guān)鍵部件自制
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設(shè)備展示
基本信息
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1. 適用產(chǎn)品：8/12 inch 晶圓 ＆ 12 inch Frame
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